L'ISL dispose d'une salle blanche de classe 100. Elle permet à l’institut de consolider ses capacités de production de semi-conducteurs de puissance et de continuer à les développer pour atteindre un niveau quasi industriel – les produits réalisés pouvant aller de la simple puce jusqu’à des galettes de 100 mm.

Caractéristiques techniques

Superficie totale : 100 m²

  • Système d’écoulement laminaire de l'air permettant une pureté de l'air conforme aux normes ISO 5/6 (classes 100/1 000)
  • Equipements et cabines de traitement pour la chimie par voie humide, la photolithographie, le dépôt de couches et le traitement thermique
  • Système d'alimentation en gaz de haute qualité et de haute pureté 
  • Système de purification et de désionisation de l'eau (niveau submicronique)
  • Capacités de manipulation, dimensions max. des galettes : 10,16 cm/4 pouces